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    科學技術ソリューション

    ナノ?マイクロシミュレーション

    當社では、30 年以上に渡り、半導體MEMS のような ナノ?マイクロデバイス に係るシミュレーションやツール開発に攜わっております。 特に理學や工學の深い知見が求められる物理設計に係る技術に強みがあります。

    プロセスシミュレーション

    ナノ?マイクロデバイスは、成膜、エッチングなど様々な工程 (プロセス) を経て作製されます。 プロセスを一つ一つ計算機の上で辿り、最終的な出來上がり形狀を作り上げるのが、プロセスシミュレーション です。 昨今は、3 次元の複雑形狀を有するデバイスが増えてきているため、出來上がり形狀の評価や 3 次元デザインルールチェック (DRC) を早期に行うことが重要になってきています。
    當社は、Voxel 法 に基づく形狀シミュレータ ParadiseWorld-2 や詳細な物理モデルに基づくシミュレータ (リソグラフィシミュレータ など) を有しており、 複雑化するプロセスインテグレーションを強力に支援致します。

    成膜時のボイド解析 SADP における短絡検出 近接露光リソグラフィシミュレーション

    (左) 成膜時のボイド解析 / (中央) SADP における短絡検出 / (右) 近接露光リソグラフィシミュレーション

    デバイスシミュレーション

    ナノ?マイクロデバイスは、微細化や新材料の導入によって、その性能は日々向上しています。しかし、その一方で信頼性や安全性を擔保することも重要です。 そのため、設計時には、シミュレーションを活用して様々な側面からナノ?マイクロデバイスの特性が解析されています。

    昨今は、消費電力を減らす「省エネ」だけでなく、電力を生み出す「創エネ」の重要性も高まっているため、環境発電デバイス の解析も行っております。

    配線網のLCR抽出

    配線網の LCR 抽出 (GDS-II→プロセスシミュレータによる形狀生成→自己容量の抽出)

    社會シミュレーション

    當社では、科學技術分野で培った豊富なシミュレーション技術やデータ解析技術を用いて、社會シミュレーションの受託開発も承っております。

    交通シミュレーション(ミクロマクロ)

    需要交通量と信號制御情報をもとにシミュレーションを行い、平均旅行時間や渋滯長、交通量といった統計量を得ることができます。 交通シミュレーションを活用することによって、信號制御アルゴリズムの評価?検証や交通規制による影響の検証を行うことができます。

    交通シミュレーションの活用

    交通シミュレーションの活用

    ロボットシミュレーション

    仮想空間內でのエージェントによるロボットシミュレーション。センサーを備えたロボットの行動をエージェントモデルとして記述することで、 人間とロボットのインタラクティブな相互作用について考察を行うことができます。

    CAE

    30 年以上に渡るナノ?マイクロシミュレーションで培ってきた數値計算技術と理學?工學の知見をベストミックスさせて、CAE 分野の実問題に取り組んでおります。

    制御シミュレーション

    制御シミュレーション で扱う対象は、ロボットやモータといった機械から神経系や身體といった生體まで多岐に渡ります。 當社では、ヒトの腕を制御対象として、MATLAB 上で動作する順動力學シミュレータを開発しました。

    到達運動の計算 到達運動の計算

    ヒトの腕の制御シミュレーション

    熱解析シミュレーション

    電子機器の小型化に伴って、熱設計の重要性が高まっています。當社では、任意の形狀の物體に対する熱分布の時間変化を計算するソルバを開発しております。 熱分布は、弊社製の 3 次元ビューワで可視化できます。

    CAD データ変換

    昨今は、同じ CAD モデルを複數のツールに掛けて、多角的に解析を行うことが増えてきています。しかしながら、CAD データの形式はツールによって多種多様であるため、 データ変換は避けて通れません。當社では、ボクセルデータを、種々の CAD データに変換するツールを開発 / 販売しております。

    上記の他に、電磁界解析シミュレータ數値計算ライブラリ の開発実績もございます。

    高性能計算 (HPC?GPU)

    コンピュータのマルチコア化、クラスタの普及およびクラウドサービスの展開により、従來よりも並列計算が身近なものになってきています。 またスーパーコンピュータの利用を考えた場合も、並列計算 への対応が欠かせません。 最近では GPGPU も一般的になっています。これらの技術を元に「より早い計算」を実現するためのサポートを行っております。

    GPGPUによる疎行列ソルバの高速化

    GPGPU による疎行列ソルバの高速化

    逆問題解析

    通常のシミュレーションは、「支配方程式」と「種々の條件」から「応答」を求めるものです。この際に課す條件には、初期條件 / 境界條件 / 負荷があります。 その一方で、あらかじめ「応答」が分かっていて、それから「支配方程式」や「種々の條件」を求めたい場合もあります。 このような問題は、通常のシミュレーションとは入力と出力が逆になっており、逆問題解析と呼ばれます。
    當社では、最適化を用いた逆問題解析 ソリューションを提供しております。 「最適化ソルバ」と「シミュレータ」の間でデータのやり取りを行うことで求解を行う black box 法 だけでなく、 偏微分方程式制約付き最適化 (PDE constrained optimization) という新しい枠組みを用いた all at once 法 にも対応しております。 お客様が解かれたい問題を分析した上で、その特性にあった手法をご提案致します。

    逆問題解析

    逆問題解析と通常のシミュレーションの違い

    コンサルティング
    株式會社NTTデータ數理システムはパッケージソフトの提供のみならず、科學技術計算の受託およびコンサルティング、さらには各業態に合わせたソフトウエアのカスタマイズ、 トータルシステムの受託開発まで承っております。
    • 開発プラットフォーム: Windows をはじめ、Unix / Linux および MacOS X まで幅広く対応しています。
    • 開発言語: Fortran、C / C++ / C# / Objective-C、Java などの各種言語、Perl / Ruby / PHP などのスクリプト言語の他、最新の言語にも対応いたします。
    • 開発環境: VisualStudio の他、Eclipse などによる開発も行なっています。

    詳しくは、お気軽に お問い合わせ ください。

    関連パッケージソフトウェア

    株式會社NTTデータ數理システムの提供する半導體?LSI?MEMS シミュレーションのためのパッケージソフトウェアです。
    ※クリックして詳細な製品情報をご覧ください。

    PARADISEWORLD-2 - 最新の半導體 CAD パッケージ

    PW2

    マスクパターンとプロセスの組み合わせにより、LSI の形狀作成を実時間でシミュレーションするツールです。3 次元版も追加利用可能となっております。


    LiCRSIM - 高速大規模線形回路シミュレータ

    LiCRSIM

    大規模寄生インダクタンスを含む回路を SPICE と同精度で數百倍高速に解析するツールです。



    MEMSpice - MEMS 用連成解析ツール

    MEMSpice

    MEMS 構造部と制御電子回路の連成計算により、MEMS デバイス全體の挙動を解析するツールです。 部品ベースの為、設計パラメータの値を振ったパラメトリックな解析に適しています。


    プロセス逆問題解析ツール

    invProb

    MEMS のプロセスフローを逆向きに辿ることにより、入力された目的形狀を実現する最適なマスクパターン?プロセス條件を導くソフトウェアです。



    これらのソフトウエアパッケージのデモンストレーションは隨時行っておりますので、是非 お問い合わせ ください。

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    株式會社NTTデータ數理システムでは、長年にわたりビジネスの現場で科學技術計算の業務に攜わってきた専門スタッフを數多く擁しており、 この経験と知識を皆様のビジネスのために役立てたいと願っております??茖W技術計算に関する、さまざまなご相談をお待ちしております。
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    TEL: 03-3358-6681
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