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    機能構成

    主要取り扱い商品

    弊社では、MemsONEの豊富な機能モジュールのうち、主に以下の 2 機能を取り扱います。尚、この 2 機能は弊社が開発いたしました。

    その他の機能

    MemsONEには、上記の 2 機能の他に、以下の機能があります。

    • 機構解析(パンフレット)
      「力學解析」「電磁界解析」「連成解析」「接合解析」から成ります。各機能の詳細はパンフレットを參照ください。

    • プロセス解析(パンフレット)
      マスクレイアウトとプロセスレシピから3次元形狀を作成する「マルチプロセスエミュレータ」、基板の2次元斷面のエッチングプロファイルの時間変化を解析する「ドライエッチングシミュレータ」から成ります。詳細はパンフレットを參照ください。

    • ウェットエッチング(パンフレット)
      単結晶シリコンの全方位のエッチングレートデータを元に、設定したマスクパターンに対して、3次元エッチングプロファイルの時間変化を解析する機能です。詳細はパンフレットを參照ください。

    • ナノインプリント解析(パンフレット)
      「熱ナノインプリント解析」「光ナノインプリント解析」からなります。詳細はパンフレットを參照ください。

    尚、MemsONE全體のパンフレットはこちらにございます。


    補足事項

    • フレームワークソフトは、購入商品に必要な機能が裝備されます。
    • 材料?プロセスDBは全商品に裝備されます。
    • 価格等につきましては、下記の連絡先までお問い合わせください。
    お問い合わせ?資料のご請求
    株式會社NTTデータ數理システム MEMS擔當
    E-mail mems-info@ml.www.jsj0508.cn
    TEL. 03-3358-1701(9:30~17:30)
    FAX. 03-3358-1727
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